檢索結果：共13筆資料 檢索策略： "Thin film".ekeyword (精準) and year="96"
個人化服務 ：
排序：
每頁筆數：
已勾選0筆資料
1
本論文研究主要分為兩大部分，第一部份以Ni-YSZ碟型基材作為陽極支撐(anode-supported)，第二部份以YSZ碟型基材作為電解質支撐(electrolyte -supported)，利用…
2
半導體元件是由數層不同的厚度且材質互異的薄膜所構成，鎢薄膜做為柱塞(Plug)的用途，化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)是半導體製程中全面平坦化(G…
3
中文摘要 本論文研究在氧化鋁基材上利用網印法塗佈高溫銀膠，經高溫燒結後作為電極，接著以真空磁控濺鍍法於其上成長鈷薄膜，再於不同氣氛下以加熱板直接加熱使其表面產生微奈米結構氧化鈷，以提高其比表面積，製…
4
本論文使用磁控式濺鍍沉積氧化鈰(CeO2)及摻雜釓與銀[(Gd2O3)x-(CeO2)1-x、Ag- CeO2]之氧化鈰固態薄膜電解質在氧化鋁基材上，後藉由熱處理後再濺鍍白金電極製備成電阻式氧氣感測…
5
本研究利用CO2低溫雷射退火製程，將鋯鈦酸鉛(PZT)鐵電薄膜與錳酸鍶鑭(LSMO)氧化物電極鍍製於316型不鏽鋼線與薄板基板上，以改善傳統爐內退火常導致線狀或薄板型鐵電元件產生界面擴散與氧化等問題…
6
本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜，同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化，並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…
7
焦電薄膜感測器乃利用焦電效應，將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標，其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質，而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…
8
近十年來，有機薄膜電晶體已有顯著的發展且現在很有可能應用在許多地方。與矽為基礎的無機薄膜電晶體比較，有機薄膜電晶體在製作及應用上，基本提供兩個主要的優點:低溫需求及低成本，而低溫製程其中一個考量的重…
9
本研究利用有機金屬化學氣相沈積方式，以三甲基鎵(TMGa)及氨氣(NH3)分別為其鎵源和氮源合成氮化鎵結構。在一維結構方面，使用鍍上金觸媒的Si(100)、藍寶石單晶及氮化鎵單晶為基材來沈積氮化鎵。…
10
摘要 氮化鉻薄膜具有高硬度、較佳耐磨耗性與抗腐蝕能力，因此已在 模具產業中廣泛被使用；而在氮化鉻薄膜中加入適量的銅元素又可以 有效提高薄膜之機械性質。本研究採用反應式雙極非對稱脈衝直流磁 控濺鍍法沉…